常见几种触觉传感器阵列

个手指式混合传感器装置由力矩传感器、256个力敏元件阵列、电压薄膜阵列和放入指尖表面曲形压电薄膜内的超声波传感器组成。力矩传感器对合力、接触力敏感，能对大的被测物体和被测力进行处理：力敏元件阵列由力敏电阻构成，用于检测空间和瞬间的分布接触力;压电薄膜阵列用于检测物体的轮廓及边缘;超声波传感器对淮被测物，可以提供其几何尺寸相关的二维数据;最后，由图像仪获得其真实形体结果。
清华大学研制的压阻式触觉传感器阵列包括一块由4X4个敏感元件组成的N-Si集成电路参考单元、译码器和读出放大器等部件，敏感元件由压敏电阻和X-Y的门电路构成。工作时， 当X-Y门电路接通后，与参考单元相连的:二个电阻接通，形成一个电桥，以测扭方式实现触觉敏感。
多晶硅电容阵列使用的元件就是前面介绍的微型多晶硅桥式电容触觉传感器，将9个这种传感器构成一个3X3的阵列，每个元件的厚度仅为1μm，其平面尺寸为 60μmX60μm，因此，3X3阵列的总尺寸小于500μmX500μm，常见的触觉图像传感器有硅压阻图像仪、高密度硅电容图像仪、导电橡胶电容图像仪、 光纤图像仪等。
一种32X32硅压阻阵列的触觉图像仪的每个压阻全桥都有双线读出系统， 具有噪声低、功耗低、分辨力高的优点，其图像系统由存储器、微处理器、A/D,D/A转换元件和显示器等组成,可提供两维压力分布图形，其尺寸为10mm x10mm。
运算放大器，用于零压调整，数据经A/D转换后，存放于微处理器μP的存储器中。若我们将多晶硅电容阵列密度提卨至32X32或64X64，加上行选择、驱动电路、列检测放大器、显示器，就形成高密度硅电容图像仪，32x32的分辨率为500μm， 64x64的分辨率为250μm。
导电橡胶电容图像仪由薄导电橡胶层、天然橡胶层、硅芯片和陶瓷底板组成，单个的敏感电容、询址、逻辑和信号调节电路集成在一起，面积约为5mm，整个传感器为9X9阵列，工作时.正弦电压隔离橡胶作用于导电橡胶，其电容量取决于橡胶受压后的形变。